基板収納装置
Mサイズ
マガジンラックストックス 上：2個 下：3個
中間ｺﾝﾍﾞｱｰ
Mサイズ 全長：600ｍｍ
中間ｺﾝﾍﾞｱｰ
Mサイズ 全長：450ｍｍ
中間ｺﾝﾍﾞｱｰ
Mサイズ 全長：450ｍｍ
SP60P-L
温調ユニット付き
リングブロー付き
バキュームユニット付き
BM221-Cタイプ
フィーダー軸：前側一括交換台車仕様
：後側固定仕様
一括交換台車：2台付き
フライングカメラ付き
２Dセンサー付き
吸着位置カメラ付き
BM221-Cタイプ
フィーダー軸：前側一括交換台車仕様
：後側固定仕様
一括交換台車：2台付き
フライングカメラ付き
２Dセンサー付き
吸着位置カメラ付き
取り出しｺﾝﾍﾞｱｰ
全長：500ｍｍＭサイズ仕様
取り出しｺﾝﾍﾞｱｰ
全長：500ｍｍＭサイズ仕様
吸着兼用基板供給装置
Mサイズ
マガジンラックストックス 上：2個 下：3個