BM221-Cタイプ
フィーダー軸：前側一括交換台車仕様
：後側固定仕様
一括交換台車：2台付き
フライングカメラ付き
２Dセンサー付き
吸着位置カメラ付き
取り出しｺﾝﾍﾞｱｰ
全長：500ｍｍＭサイズ仕様
取り出しｺﾝﾍﾞｱｰ
全長：500ｍｍＭサイズ仕様
吸着兼用基板供給装置
Mサイズ
マガジンラックストックス 上：2個 下：3個
SP80V-M
温調ユニット付き
リングブロー付き
バキュームユニット付き
HDF
ノズル：VS1点、S2点、L4点 付属
サポートピン：20本付き
＜オプション＞
温調ユニット
ノズル落下防止付き
SP60P-MU
温調ユニット付き
リングブロー付き
外観検査装置
HDF
ノズル：VS1点、S2点、L4点 付属
サポートピン：20本付き
＜オプション＞
温調ユニット
ノズル落下防止付き
BM221
フィーダー軸：固定仕様
フライングカメラ＋２Dセンサー＋３Dカメラ付き
ツイントレイフィーダー付き
背面操作盤付き
吸着位置カメラ付き